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高精度拋光系統是半導體晶圓、光學鏡片、藍寶石襯底、硬盤基板及精密模具制造中實現納米級表面粗糙度與亞微米面形精度的關鍵裝備,廣泛應用于集成電路、激光器、航空航天及消費電子領域。高精度拋光系統性能源于多模塊的精密協同,每一部件均體現“超穩運動、智能控制、潔凈環境、柔性工藝”的制造理念。一、主軸與拋光頭系統空氣靜壓電主軸:轉速0–3000rpm無級可調,徑向跳動≤0.1μm,無機械摩擦,避免振動;多自由...
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