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高精度拋光系統(tǒng)各組成部件功能特性深度剖析
20263-5

高精度拋光系統(tǒng)是半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鏡片、藍(lán)寶石襯底、硬盤基板及精密模具制造中實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面粗糙度與亞微米面形精度的關(guān)鍵裝備，廣泛應(yīng)用于集成電路、激光器、航空航天及消費(fèi)電子領(lǐng)域。高精度拋光系統(tǒng)性能源于多模塊的精密協(xié)同，每一部件均體現(xiàn)“超穩(wěn)運(yùn)動(dòng)、智能控制、潔凈環(huán)境、柔性工藝”的制造理念。一、主軸與拋光頭系統(tǒng)空氣靜壓電主軸：轉(zhuǎn)速0–3000rpm無(wú)級(jí)可調(diào)，徑向跳動(dòng)≤0.1μm，無(wú)機(jī)械摩擦，避免振動(dòng)；多自由...

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  • 穩(wěn)定同位素質(zhì)譜儀一次進(jìn)樣實(shí)現(xiàn)CHNS的同位素比分析，球閥進(jìn)樣設(shè)計(jì)，利用氦氣吹掃功能，實(shí)現(xiàn)零空白進(jìn)樣（標(biāo)準(zhǔn)配置）；三吸附柱于動(dòng)態(tài)吸附-解吸附CO2、N2、SO2、H2O，實(shí)現(xiàn)基線分離，均為單獨(dú)流路設(shè)計(jì)，無(wú)交叉污染；是真正瞬間燃燒+*燃燒，確保...

    2017-07-24

  • 穩(wěn)定同位素質(zhì)譜儀按物質(zhì)原子、分子或分子碎片的質(zhì)量差異進(jìn)行分離和檢測(cè)物質(zhì)組成的一類儀器。質(zhì)譜儀按應(yīng)用范圍分為同位素質(zhì)譜儀、無(wú)機(jī)質(zhì)譜儀和有機(jī)質(zhì)譜儀。按分辨本領(lǐng)分為高分辨、中分辨和低分辨質(zhì)譜儀，穩(wěn)定同位素質(zhì)譜儀按工作原理分為靜態(tài)儀器和動(dòng)態(tài)儀器。被...

    2017-03-07

  • 化學(xué)拋光設(shè)備能夠處理表面強(qiáng)化處理、降低金屬零件表面粗糙度、光亮拋光、鏡面拋光等難題，鎖使用的電機(jī)轉(zhuǎn)速就比較低，摩擦產(chǎn)生熱有可能燒毀物件。所使用的拋光輔料偏軟、偏細(xì)等等。又能換上拋光盤做車漆護(hù)埋。化學(xué)拋光設(shè)備較重，為2-3kg，但工作起來(lái)非常...

    2016-12-22

  • 金剛石是一種純碳物質(zhì)，也是鉆石的原石。近年來(lái)，隨著開(kāi)發(fā)技術(shù)難題的攻克，具有晶瑩質(zhì)感的鉆石不僅僅是女孩們的zui愛(ài)，也成為工程師的朋友。由于金剛石的性能，金剛石納米薄膜已經(jīng)在MEMS、表面聲波（SAW）器件、熱量管理及摩擦涂層等方面得到廣泛應(yīng)...

    2016-10-28

  • 氣體分析質(zhì)譜儀多用于生產(chǎn)研究之中來(lái)監(jiān)測(cè)氣體和進(jìn)行過(guò)程分析，氣體分析質(zhì)譜儀應(yīng)用的領(lǐng)域十分廣泛：如真空科學(xué)工業(yè)中加速器、高真空、超高真空系統(tǒng)和器件中的氣體分析，航天航空工業(yè)中燃料箱、發(fā)動(dòng)機(jī)、密封倉(cāng)安全檢漏、多種氣體分析；電子工業(yè)中真空鍍膜、微波...

    2016-08-29

  • 摘要：對(duì)比觀察了不同工藝條件下金剛石線鋸和砂漿線鋸切割晶體Si片的表面微觀形貌；分析了其切割機(jī)理及去除模式；對(duì)比分析了三種不同化學(xué)方法鈍化Si片的效果和穩(wěn)定性；采用逐層腐蝕去除Si片的損傷層，使用碘酒對(duì)其進(jìn)行化學(xué)鈍化，然后測(cè)試其少子壽命，分...

    2016-08-09

  • 研磨指通過(guò)研磨的方法，除去切片和輪磨所造成的硅片表面鋸痕及表面的損傷層，有效改善單晶硅片的翹曲度、平坦度與平行度，達(dá)到一個(gè)拋光過(guò)程可以處理的規(guī)格。硅片研磨質(zhì)量直接影響到拋光質(zhì)量及拋光工序的整體效率，甚至影響到IC的性能。硅片研磨加工模型如圖...

    2016-05-05

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