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信越HIVAC-F4/HIVAC-F5具有耐氧化性、熱穩定性、耐化學藥品性的苯甲基有機硅油。像石油類泵用油以及脂肪酸酯類的泵用油一樣，不會出現由于熱以及氣體吸附所造成的熱破裂現象。另外，在加熱狀態下，幾乎完全不會出現因真空破壞時發生氧化產生氣體以及生產酸、焦油、瀝青類的物質等現象。因此，即使是長期使用也能夠保證真空泵的穩定運行。