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更新時間：2018-02-02 
瀏覽次數：5947中山大學電子與信息工程學院光電材料與技術國家重點實驗室，為滿足專業人才培養需要，2016年底，利用國家專項教學資金購置光電國家重點實驗室化學機械平坦化機和研磨拋光機各一套。設備均為目前精密研磨拋光設備領域的英國Logitech公司生產，均為*。
2018年01月13日-17日，Logitech工程師Tom，應學院老師要求，前往中山大學電子與信息工程學院對CMP Tribo和PM6設備進行現場的設備安裝培訓及維護指導。
相信設備正常投入教學后，必將為中山大學電子與信息工程學院培養大量專業人才，也為與Logitech長期合作做出重要貢獻。
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